Principalmente Desarrollado para aplicaciones de semiconductores, la AltiSurf®530 es también la base para muchas estaciones de metrología adaptados a necesidades muy específicas de los clientes.
Al igual que el AltiSurf®500 y 520, se puede integrar todo tipo de sensor y fijación.
Especificaciones.
EJES:
- Longitud X, Y, Z (mm): 300 × 300 × 300
- Motorizado DC Eje
- Planeidad menos de 2 m de 300 mm después de la corrección
- Maxima velocidad. : Hasta 40 mm / s
- Opción: Progresiones 0,1 micra
- Opción: doble eje rotatorio