Principalmente Desarrollado para aplicaciones de semiconductores, la AltiSurf®530 es también la base para muchas estaciones de metrología adaptados a necesidades muy específicas de los clientes.

Al igual que el AltiSurf®500 y 520, se puede integrar todo tipo de sensor y fijación.

Especificaciones.

EJES:

• Longitud X, Y, Z (mm): 300 × 300 × 300
• Motorizado DC Eje
• Planeidad menos de 2 m de 300 mm después de la corrección
• Maxima velocidad. : Hasta 40 mm / s
• Opción: Progresiones 0,1 micra
• Opción: doble eje rotatorio